เครื่องดูดฝุ่น

ปั๊มนี้ส่วนใหญ่ใช้กับอุปกรณ์สำหรับการศึกษาพื้นผิวที่สะอาดและในการสปัตเตอร์ด้วยคลื่นความถี่วิทยุ ความจุมีให้ใช้งานสูงสุด 190,000 ลูกบาศ์กฟุตต่อนาที โดยมีช่วงแรงดันใช้งาน 10-2 ถึงน้อยกว่า 10-9 torr เมื่อใช้แผ่นกั้นระบายความร้อนด้วยน้ำ และน้อยกว่า 10-11 torr เมื่อใช้แผ่นกั้นทำความเย็น เครื่องดูดฝุ่น ความเร็วในการสูบสำหรับปั๊มไอระเหยคงที่ตั้งแต่ประมาณ 10-3 ทอร์เรไปจนถึงต่ำกว่าขีดจำกัดแรงดันสูงสุดของของไหลปั๊ม นั่นคือ ของเหลวที่ดีที่สุดจะมีแรงดันดีกว่า 10-9 ทอร์ ในขั้นต้น ปั๊มกระจายจะถูกสูบออกโดยปั๊มโรตารีที่ปิดสนิทด้วยน้ำมันจนถึงแรงดันประมาณ 0.1 torr หรือน้อยกว่า เมื่อของไหลปั๊มในหม้อต้มร้อน จะสร้างแรงดันหม้อต้มสองสามทอร์ร์ภายในชุดหัวฉีด กระแสไอที่มีความเร็วสูงโผล่ออกมาจากชุดประกอบเจ็ต กระทบและควบแน่นบนผนังปั๊มที่ระบายความร้อนด้วยอากาศหรือน้ำ และกลับสู่หม้อไอน้ำ ในการทำงานปกติ ส่วนหนึ่งของก๊าซใดๆ ที่มาถึงเจ็ททางเข้าจะถูกกัก บีบอัด และถ่ายโอนไปยังขั้นตอนต่อไป กระบวนการนี้จะเกิดขึ้นซ้ำๆ จนกว่าปั๊มทางกลจะไล่แก๊สออก